Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2009.06a
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- Pages.249-250
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- 2009
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- 2005-8446(pISSN)
Measurement of Absolute Optical Thickness Distribution of Semiconductor Wafer Using a Wavelength Tuning Interferometer
파장 주사 간섭법을 이용한 반도체 Mask Glass의 광학적 두께 정밀 측정
- Kim, Y.J. ;
- Hibino, Kenichi (AIST) ;
- Bitou, Youichi (AIST) ;
- Osawa, Sonko (AIST) ;
- Sugita, Naohiko ;
- Mitsuishi, Mamoru
- 김양진 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
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- Published : 2009.06.03