한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
- /
- Pages.249-250
- /
- 2009
- /
- 2005-8446(pISSN)
파장 주사 간섭법을 이용한 반도체 Mask Glass의 광학적 두께 정밀 측정
Measurement of Absolute Optical Thickness Distribution of Semiconductor Wafer Using a Wavelength Tuning Interferometer
- 김양진 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
- ;
- ;
- ;
- ;
- Kim, Y.J. ;
- Hibino, Kenichi (AIST) ;
- Bitou, Youichi (AIST) ;
- Osawa, Sonko (AIST) ;
- Sugita, Naohiko ;
- Mitsuishi, Mamoru
- 발행 : 2009.06.03