파장 주사 간섭법을 이용한 반도체 Mask Glass의 광학적 두께 정밀 측정

Measurement of Absolute Optical Thickness Distribution of Semiconductor Wafer Using a Wavelength Tuning Interferometer

  • 김양진 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
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  • 발행 : 2009.06.03