Surface texture monitoring for micro-parts using laser scattering

레이저 산란을 이용한 마이크로 부품의 표면성상 모니터링

  • 하태호 (한국기계연구원 지능형생산시스템 연구본부) ;
  • 송준엽 (한국기계연구원 지능형생산시스템 연구본부) ;
  • 이창우 (한국기계연구원 지능형생산시스템 연구본부)
  • Published : 2009.06.03