Design of an on-machine measurement probe for three-dimensional optical surfaces and corrective figuring

초정밀 미세형상 생성 및 형상 보정을 위한 기상측정장치의 설계

  • 이정훈 (고등기술연구원 로봇/생산기술센터) ;
  • 이찬희 (고등기술연구원 로봇/생산기술센터) ;
  • 김호상 (고등기술연구원 로봇/생산기술센터) ;
  • 허덕재 (고등기술연구원 전략연구센터) ;
  • 김민기 (두산인프라코어 공기자동화 선행개발 1 팀) ;
  • 임경진 (두산인프라코어 공기자동화 선행개발 1 팀) ;
  • 김태형 (두산인프라코어 공기자동화 선행개발 1 팀)
  • Published : 2009.06.03