한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

다결정 실리콘 CMP의 기계적 재료제거 특성

Mechanical Material Removal Characteristic in Polycrystalline Silicon CMP

  • 신운기 (부산대학교 기계공학과부 정밀가공시스템) ;
  • 정문기 (부산대학교 기계공학과부 정밀가공시스템) ;
  • 이영균 (부산대학교 기계공학과부 정밀가공시스템) ;
  • 이창석 (부산대학교 기계공학과부 정밀가공시스템) ;
  • 정해도 (부산대학교 기계공학과부 정밀가공시스템)
  • 발행 : 2009.06.03
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