Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2009.06a
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  • Pages.87-88
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  • 2009
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Characterization and Monitoring of Pad Surface Condition in Mirror Surface Polishing Process

초경면 표면연마공정에서 패드표면상태 계측에 관한 연구

  • 김형재 (한국생산기술연구원 동남권기술지원본부) ;
  • 김성렬 (한국생산기술연구원 동남권기술지원본부) ;
  • 류호연 (한국생산기술연구원 동남권기술지원본부) ;
  • 강필식 (한국생산기술연구원 동남권기술지원본부)
  • Published : 2009.06.03
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Abstract

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