한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

Linear Motor 구동 대면적 평판 가공 시스템을 이용한 미세 패턴 가공 연구

Manufacturing Technology for Micro Structure Using Large Area Plate Machining System

  • 김병두 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) ;
  • 노진석 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) ;
  • 김재구 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) ;
  • 박경택 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) ;
  • 최두선 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) ;
  • 제태진 (한국기계연구원 나노공정장비연구실)
  • 발행 : 2009.10.26
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드