Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2009.10a
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Pages.599-600
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2009
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Development The Anti-Sticution Equipment for More Precision Fabrication of Lattic Micro Structure

격자형 마이크로 구조물의 정밀 제작을 위한 Anti Stiction 장비 개발

김현태 (부산대학교 대학원 기계공학부) ;
박인백 (부산대학교 대학원 기계공학부) ;
김성현 (부산대학교 대학원 기계공학부) ;
하영명 (부산대학교 대학원 기계공학부) ;
이석희 (부산대학교 기계공학부)

Published : 2009.10.26

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Abstract

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