Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2009.10a
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Pages.597-598
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2009
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Aberration Analysis due to Misalignment in Multi Ion Beam Optics

다중이온빔 광학계의 조립오차에 의한 가공 정밀도 평가

김승태 (연세대학교 기계공학부) ;
김태곤 (연세대학교 기계공학부) ;
민병권 (연세대학교 기계공학부) ;
이상조 (연세대학교 기계공학부)

Published : 2009.10.26

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Abstract

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