Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2009.10a
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- Pages.399-400
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- 2009
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- 2005-8446(pISSN)
Characteristics of Anti-stiction of DLC coated Surface using PE-CVD process
PE-CVD 공정을 통한 DLC 코팅면의 이형성 특성 연구
- Nam, S.H. ;
-
Kang, E.G.
;
- Byun, K.W. ;
- Ko, Y.J. ;
- Kim, J.S. ;
- Choi, D.Y. ;
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Lee, D.Y.
- 남성호 (한국생산기술연구원 미세융합생산공정부) ;
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강은구
(한국생산기술연구원 디지털협업지원센터)
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- 변경원 (한국생산기술연구원 디지털협업지원센터) ;
- 고용준 (한국생산기술연구원 디지털협업지원센터) ;
- 김진석 (한국생산기술연구원 디지털협업지원센터) ;
- 최동영 (한국생산기술연구원 디지털협업지원센터) ;
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이동윤
(한국생산기술연구원 미세융합생산공정부)
- Published : 2009.10.26