Control of a Magnetic Bearing System for a Compound Turbomolecular Vacuum Pump

복합 터보분자펌프의 자기부상 구동계 제어

  • 노승국 (한국기계연구원 초정밀기계시스템실) ;
  • 신우철 (한국기계연구원 초정밀기계시스템실) ;
  • 이홍균 (제일진공(주))
  • Published : 2009.10.26