Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2009.10a
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Pages.287-288
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2009
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Development of Membrane Carrier Head for CMP of Small Diameter Wafers

소구경 웨이퍼 CMP 용 멤브레인형 연마헤드 개발

김형재 (한국생산기술연구원) ;
유민종 (지앤피테크놀로지(주)) ;
김성렬 (한국생산기술연구원) ;
류호연 (한국생산기술연구원)

Published : 2009.10.26

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Abstract

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