Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

FPI Array-Based Infrared Micro-Spectrometer for Multi-Gases Detection

다중가스 검출을 위한 FPI 어레이 기반 적외선 마이크로스펙트로미터

  • Kang, Hyun-Oh (School of Electrical Engineering and Computer Science, Kyungpook National University) ;
  • Zhiguo, Zhao (School of Electrical Engineering and Computer Science, Kyungpook National University) ;
  • Lee, June-Kyoo (School of Electrical Engineering and Computer Science, Kyungpook National University) ;
  • Jung, Ho (School of Electrical Engineering and Computer Science, Kyungpook National University) ;
  • Kim, Hak-Rin (School of Electrical Engineering and Computer Science, Kyungpook National University) ;
  • Kong, Seong-Ho (School of Electrical Engineering and Computer Science, Kyungpook National University)
  • 강현오 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 짜오찌구오 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 이준규 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 정호 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 김학린 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 공성호 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부)
  • Published : 2009.07.14
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Abstract

제안된 Fabry-Perot Interferometer (FPI) 어레이 기반 IR 스펙트로미터는 상층부에 FPI 어레이와 하단에 $V_2O_5$ 볼로미터 IR 적외선 센서어레이로 크게 두 부분으로 구성된다. 이 구조에서 다양한 FPI 공진 캐비티의 두께에 의해 특정 공진 파장이 선택되어 진다. 그리고 각각의 볼로미터 IR 디텍터는 IR 파장에 상응하는 투과도를 감지해낸다. 다양한 박막 필터 시뮬레이션 결과를 통해 제작된 FPI 어레이 기반 IR 스펙트로미터는 $3{\sim}5{\mu}m$의 적외선 파장대역에서 흡수 스펙트럼을 가지는 $CH_4$, $CO_2$, $N_2O$, CO 가스 검출을 위해 다층 박막 FPI 층의 다층 박막 FPI 층의 투과율을 높였다.

Keywords