Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2008.08a
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Pages.300-300
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2008

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Ar neutral beam을 이용한 $ZrO_2$ 원자 층 식각

임웅선 (성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
박재범 (성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
염근영 (성균관대학교 성균나노과학기술원)

Published : 2008.08.20

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