Ar neutral beam을 이용한 $ZrO_2$ 원자 층 식각

  • 임웅선 (성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
  • 박재범 (성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
  • 염근영 (성균관대학교 성균나노과학기술원)
  • Published : 2008.08.20