Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

페로마그네틱 모듈을 적용한 내장형 유도결합 플라즈마 소스의 플라즈마 및 전기적 특성에 관한 연구

  • 권광호 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김경남 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 임종혁 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2008.08.20
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