한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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- Pages.270-270
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- 2008
모세관 현상 제어를 위한 Blade Jig 최적화에 관한 연구
- 이민호 (삼성전자 공과대학교) ;
- 김동환 (MEMORY사업부 공정관리1그룹) ;
- 조영민 (LCD총괄 T-P/J(HD) L/C1파트) ;
- 성태경 (LCD총괄 T-P/J(HD) L/C1파트)
- Lee, Min-Ho (SSIT) ;
- Kim, Dong-Hwan ;
- Jo, Yeong-Min ;
- Seong, Tae-Gyeong
- 발행 : 2008.08.20