ITO Etchant Out-gassing 제거를 위한 Clean room 구조 개선에 관한 연구

  • 김종대 (삼성전자공과대학교) ;
  • 김용수 (삼성전자 LCD 총괄 HD사업부) ;
  • 이정윤 (MEMORY사업부 공정개발 P&D Part)
  • 발행 : 2008.08.20