Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.08a
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- Pages.208-208
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- 2008
액상 Cu(II) 전구체의 개발 및 ALD 증착 특성 연구
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Gang, Sang-U
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Yun, Ju-Yeong
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Sin, Yong-Hyeon
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- Na, Jeong-Gil ;
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Choe, Jae-Bong
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Kim, Tae-Seong
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- Seo, Gyeong-Cheon ;
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Sin, Jae-Su
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- Yang, Il-Du ;
- Sim, Jae-Yong
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강상우
(한국표준과학연구원 진공센터) ;
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윤주영
(한국표준과학연구원 진공센터) ;
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신용현
(한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 나정길 (성균관대학교 기계공학과) ;
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최재봉
(성균관대학교 기계공학과) ;
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김태성
(성균관대학교 기계공학과) ;
- 서경천 (대전대학교 신소재공학과) ;
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신재수
(대전대학교 신소재공학과) ;
- 양일두 ((주)큐리프) ;
- 심재용 ((주)큐리프)
- Published : 2008.08.20
Abstract
Keywords