Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Development of Ion Source and process for treatment on surface using vacuum arc plasma

진공 아크 플라즈마를 이용한 표면 처리용 이온 소스 및 공정 개발

  • 최민기 (한국 기계연구원 부설 재료 연구소 기능박막그룹) ;
  • 김도근 (한국 기계연구원 부설 재료 연구소 기능박막그룹) ;
  • 변응선 (한국 기계연구원 부설 재료 연구소 기능박막그룹) ;
  • 김종국 (한국 기계연구원 부설 재료 연구소 기능박막그룹)
  • Published : 2008.08.20
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Abstract

Keywords