CAT-CVD를 이용한 실리콘 기반의 나노 결정 박막 형성 및 특성 연구

  • 황재담 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
  • 이경민 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
  • 김태환 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
  • 원성환 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
  • 석중현 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
  • 박경완 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
  • 홍완식 (서울시립대학교 나노과학기술학과)
  • 발행 : 2008.08.20