나노급 N-type 폴리실리콘게이트의 니켈실리사이드 공정에 따른 안정화 효과

  • 박종성 (서울시립대학교 신소재공학과) ;
  • 윤기정 (서울시립대학교 신소재공학과) ;
  • 송오성 (서울시립대학교 신소재공학과)
  • Published : 2008.08.20