TiN 증착을 위한 MOCVD 공정 중 열분해에 따른 Precursor 진단 및 오염입자 발생에 관한 연구

• Na, Jeong-Gil ;
• Kim, Tae-Seong ;
• Choe, Jae-Bung ;
• Kim, Yeong-Jin ;
• Yun, Ju-Yeong ;
• Gang, Sang-U

• 나정길 (성균관대학교 기계공학부) ;
• 김태성 (성균관대학교 기계공학부) ;
• 최재붕 (성균관대학교 기계공학부) ;
• 김영진 (성균관대학교 기계공학부) ;
• 윤주영 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
• 강상우 (한국표준과학연구원 진공센터)

• Published : 2008.08.20

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