Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.08a
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- Pages.85-85
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- 2008
TEM 분석 기법을 이용한 Cu확산 현상에 대한 연구
- Kim, Ga-Yeong ;
- Yeon, Tae-Won ;
- Lee, Ju-Hui ;
- Yu, Jong-Hui ;
- O, Jun-Seok ;
- Park, Hyeong-Sun ;
- Kim, Won ;
- Kim, Ho-Jeong ;
- Lee, Sun-Yeong
- 김가영 ((주)하이닉스반도체 연구소) ;
- 연태원 ((주)하이닉스반도체 연구소) ;
- 이주희 ((주)하이닉스반도체 연구소) ;
- 유종희 ((주)하이닉스반도체 연구소) ;
- 오준석 ((주)하이닉스반도체 연구소) ;
- 박형순 ((주)하이닉스반도체 연구소) ;
- 김원 ((주)하이닉스반도체 연구소) ;
- 김호정 ((주)하이닉스반도체 연구소) ;
- 이순영 ((주)하이닉스반도체 연구소)
- Published : 2008.08.20
Abstract
Keywords