Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2008.06a
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Pages.633-634
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2008
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Designing Electrostatic Optics for Multi Ion Beam System

다중 이온빔 장비를 위한 정전 렌즈 집속 광학계 설계

김연태 (연세대학교 기계공학부) ;
김태곤 (연세대학교 기계공학부) ;
민병권 (연세대학교 기계공학부) ;
이상조 (연세대학교 기계공학부)

Published : 2008.06.11

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Abstract

Keywords