한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
- /
- Pages.591-592
- /
- 2008
- /
- 2005-8446(pISSN)
MEMS 구동기와 바이스테이블 메커니즘을 이용한 기계적 구속에 의한 정전기적 회전 구동기의 광범위 주파수 튜닝
Wide Range Frequency Tuning by Mechanical Restriction using MEMS Actuator and Bi-stable Mechanism in Micro Mirror
- 발행 : 2008.06.11