Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

W-C-N 확산방지막의 격자상수 변화 분석을 통한 특성 연구

  • 김수인 (국민대학교 나노전자물리학과) ;
  • 이창우 (국민대학교 나노전자물리학과)
  • Published : 2008.02.14
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