Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Adhesion property of Si-based thin film on polymer substrate treated by Inductively Coupled Plasma

  • 신경식 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재 공학과) ;
  • 변태준 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재 공학과) ;
  • 금민종 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재 공학과) ;
  • 전아람 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재 공학과) ;
  • 한전건 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재 공학과)
  • Published : 2008.02.14
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Abstract

Keywords