Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2008.06a
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- Pages.305-305
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- 2008
Test coupon Preparation using high strength LTCC materials of CAS system
CAS계 고강도 LTCC 소재를 이용한 적층 모듈형 테스트 쿠폰 제작
- Kwon, Hyeok-Jung (System Module Team, Div. of Fusion Tech., KICET) ;
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Shin, Hyo-Soon
(System Module Team, Div. of Fusion Tech., KICET)
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Yeo, Dong-Hun
(System Module Team, Div. of Fusion Tech., KICET)
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Kim, Jong-Hee
(System Module Team, Div. of Fusion Tech., KICET)
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Cho, Yong-Soo
(Dept. of Materials Science and Engineering, Yonsei Univ.)
- 권혁중 (요업기술원 융복합기술본부 IT 모듈팀) ;
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신효순
(요업기술원 융복합기술본부 IT 모듈팀)
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여동훈
(요업기술원 융복합기술본부 IT 모듈팀)
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김종희
(요업기술원 융복합기술본부 IT 모듈팀)
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조용수
(연세대학교 신소재공학과)
- Published : 2008.06.19
Abstract
LTCC는 고주파영역에서 손실이 낮고 적층구조의 모듈제작이 가능하여 고주파용 모듈제작에 응용이 가능하다. 최근 수동소자가 내장된 ASM이나 FEM 등의 모듈은 그 집적도가 높고 기판의 두께가 감소함에 따라 소재의 고강도 특성이 요구되고 있다. 이와 같은 경향에 따라 Anorthite계 결정화 유리로 알려진 300MPa 이상의 고강도를 나타내는 CaO-Al2O3-SiO2계 소재가 선행 연구 과정을 통하여 개발되었다. 본 실험에서는 기 개발된 조성의 고강도 소재를 이용하여 RF부품에 적용하기 위한 테스트 쿠폰을 제작하였다. 고강도 소재를 이용하여 green sheet를 제조하고 수동소자인 R, L, C 등을 기판 내에 내장화 하기위해 LTCC 공정을 이용하여 각 층에 다양한 선폭 및 크기의 패턴을 인쇄한 뒤 적층하여