한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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- Pages.139-140
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- 2008
$CeO_2$ 박막을 이용한 MINOS 구조의 특성
The characteristics of MINOS structure with $CeO_2$ thin flim
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Cho, Jae-Hyun
(Sungkyunkwan Univ.) ;
- Kyung, Do-Hyun (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Heo, Jong-Kyu (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Han, Kyu-Min (Sungkyunkwan Univ.) ;
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Yi, Jun-Sin
(Sungkyunkwan Univ.)
- 발행 : 2008.06.19
초록
최근 누설전류를 줄이기 위해서 게이트 산화막에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 게이트 산화막에 유전상수가 큰 high-k 물질을 적용시킴으로서 누설 전류를 줄일 수 있어 특성의 향상을 가져다 줄 수 있다. 본 연구에서는 여러 high-k 물질중