Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2008.11a
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- Pages.262-263
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- 2008
Electrical characteristic of insulator in tunnel-harrier memory using high-k
High-k를 이용한 터널베리어 메모리의 절연막 특성 평가
- Oh, Se-Man (Kwang-woon Univ.) ;
- Jung, Myung-Ho (Kwang-woon Univ.) ;
- Park, Gun-Ho (Kwang-woon Univ.) ;
- Kim, Kwan-Su (Kwang-woon Univ.) ;
- Jo, Young-Hun (KBSI) ;
- Jung, Jong-Wan (Se-jong Univ.) ;
- Jung, Hong-Bea (Kwang-woon Univ.) ;
- Cho, Won-Ju (Kwang-woon Univ.)
- 오세만 (광운대학교) ;
- 정명호 (광운대학교) ;
- 박군호 (광운대학교) ;
- 김관수 (광운대학교) ;
- 조영훈 (한국기초과학지원연구원) ;
- 정종완 (세종대학교) ;
- 정홍배 (광운대학교) ;
- 조원주 (광운대학교)
- Published : 2008.11.06
Abstract
The Metal-Insulator-Silicon (MIS) capacitors with