한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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- Pages.89-90
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- 2008
게이트 절연막 활용을 위한 TEOS/Ozone 산화막의 전기적 특성 분석
Electrical characteristic analysis of TEOS/Ozone oxide for gate insulator
- Park, Joon-Sung (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Kim, Jae-Hong (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Lee, Jun-Sin (Sungkyunkwan Univ.)
- 발행 : 2008.11.06
초록
본 연구에서는 PECVD(Plasma Enhanced CVD) 에서 사용하는 유해 가스인