Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2008.11a
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- Pages.29-29
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- 2008
Study on Pt thin film property of Resistance Temperature Detect
측온 저항체의 Pt 박막 특성 연구
- Park, Jung-Ho (Display and Nanosystem Lab., College of Engineering, Korea University) ;
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Ji, Mi-Jung
(Korea Institute of Ceramic Eng. & Tech. Electronic Materials Lab) ;
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Choi, Byung-Heon
(Korea Institute of Ceramic Eng. & Tech. Electronic Materials Lab) ;
- Lee, Jung-Min (Display and Nanosystem Lab., College of Engineering, Korea University) ;
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Ju, Byeong-Kwon
(Display and Nanosystem Lab., College of Engineering, Korea University)
- 박정호 (고려대학교 공과대학 디스플레이 및 나노시스템 연구실) ;
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지미정
(요업기술원 전자부품소재본부 전자소재팀) ;
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최병현
(요업기술원 전자부품소재본부 전자소재팀) ;
- 이정민 (고려대학교 공과대학 디스플레이 및 나노시스템 연구실) ;
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주병권
(고려대학교 공과대학 디스플레이 및 나노시스템 연구실)
- Published : 2008.11.06
Abstract
Platinum Thin films were deposited on