Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
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- Pages.167-168
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- 2008
Dependence of Optical Property of ZnS-$SiO_2$ Film on Oxygen Flow Rate Investigated by Spectroscopic Ellipsometry
분광타원법을 이용한 ZnS-$SiO_2$ 박막의 산소유량 변화에 따른 광학 물성 변화 연구
- Choe, Jung-Gyu ;
- Park, Sang-Uk ;
- Ryu, Jang-Wi ;
- Byeon, Yeong-Seop ;
- Sin, Yu-Sik ;
- Kim, Sang-Yeol ;
- Seo, Hun
- 최중규 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
- 박상욱 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
- 류장위 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
- 변영섭 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
- 신유식 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
- 김상열 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
- 서훈 (LG전자기술원)
- Published : 2008.02.01
Abstract
Keywords