Changes of Structural and Optical Properties of Sputtered $ZrO_2$ Thin Films

스퍼터된 $ZrO_2$ 박막의 두께에 따른 구조적, 광학적 특성변화

  • 강만일 (공주대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 김경남 (공주대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 김하나 (공주대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 서효정 (공주대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 김용기 (공주대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 류지욱 (공주대학교 자연과학대학 물리학과)
  • Published : 2008.07.01