Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

축전결합 $CF_4$/$O_2$/$A_r$ 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate건식식각 비교

  • 노호섭 (인제대학교 나노시스템공학과) ;
  • 박연현 (인제대학교 나노시스템공학과) ;
  • 이성현 (인제대학교 나노시스템공학과) ;
  • 박주홍 (인제대학교 나노시스템공학과) ;
  • 송한정 (인제대학교 나노시스템공학과) ;
  • 이제원 (인제대학교 나노시스템공학과)
  • Published : 2008.11.07
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