한국소음진동공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference)
- 한국소음진동공학회 2008년도 추계학술대회논문집
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- Pages.56-57
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- 2008
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- 1598-2548(pISSN)
나노 임프린트 장비를 위한 비젼 시스템의 미세진동 원인 분석
Micro-Vibration analysis of Vision System for Nano Imprint Machine
- 발행 : 2008.11.20