한국소음진동공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference)

한국소음진동공학회 (The Korean Society for Noise and Vibration Engineering)
권호 표지

나노 임프린트 장비를 위한 비젼 시스템의 미세진동 원인 분석

Micro-Vibration analysis of Vision System for Nano Imprint Machine

  • 이재우 (국민대학교 자동차전문대학원) ;
  • 정재일 (국민대학교 기계자동차공학부) ;
  • 임홍재 (국민대학교 기계자동차공학부)
  • 발행 : 2008.11.20
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