한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

나노초 레이저를 이용한 LED 소자용 사파이어 웨이퍼 드릴링 공정

Sapphire Wafer Drilling Process for LED Devices using Nano-Second Pulse Laser

  • 김남성 ((주)이오테크닉스 레이저응용 연구소) ;
  • 정영대 ((주)이오테크닉스 레이저응용 연구소) ;
  • 성천야 ((주)이오테크닉스 레이저응용 연구소) ;
  • 오경환 (연세대학교 물리학과)
  • 발행 : 2008.11.12
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