한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.451-452
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- 2008
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- 2005-8446(pISSN)
진공환경용 공기베어링의 구동에 따른 압력증가 특성
Pressure Rise Characteristics Caused by Movement of Air Bearings in Vacuum
- 발행 : 2008.11.12