한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
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Pages.449-450
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2008
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

주사 전자현미경에서 집속 렌즈를 이용한 프르브 전류의 제어

Probe Current Control Using Condenser Lens in SEM

임선종 (한국기계연구 지능형 생산시스템 연구본부) ;
이찬홍 (한국기계연구 지능형 생산시스템 연구본부)

Lim, S.J. ;
Lee, C.H.

발행 : 2008.11.12

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