Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

A Micromachined Slot-Coupled Circular Patch Antenna

마이크로머시닝 공정을 이용한 슬롯 결합형 원형 패치 안테나

  • Hyeon, Ik-Jae (Department of Nanosystem and Nanoprocess Engineering, Pusan National University) ;
  • Lim, Sung-Joon (Department of Nanosystem and Nanoprocess Engineering, Pusan National University) ;
  • Kim, Jong-Man (Department of Nanosystem and Nanoprocess Engineering, Pusan National University) ;
  • Baek, Chang-Wook (Department of Nanosystem and Nanoprocess Engineering, Pusan National University)
  • 현익재 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
  • 임성준 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
  • 김종만 (부산대학교 나노시스템공정공학과) ;
  • 백창욱 (중앙대학교 전자전기공학부)
  • Published : 2008.07.16
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Abstract

본 논문에서는 RF MEMS 패키징 플랫폼을 활용한 안테나 구조를 제안하고, 이를 바탕으로 마이크로머시닝 공정을 이용한 슬롯 결합형 원형 패치 안테나를 제작하였다. 제안된 안테나는 RF MEMS 패키징 플랫폼 상에서 패키징 물질을 안테나의 유전 물질로 이용하기 위하여 슬롯 결합형 급전 구조를 사용하였다. 한편, BCB를 이용한 폴리머 접착 접합 공정의 RF MEMS 패키징 플랫폼을 기반으로, 하판 유리기판과 상판 수정 기판을 일체화한 형태로 마이크로 스트립라인 안테나를 제작하였다. 최종 제작된 안테나는 20.36-GHz에서 -21 dB의 반사 손실 값을 나타내며, 1.7-GHz, 즉 8.3 %의 주파수 대역을 가진다.

Keywords