대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
권호 표지

PLD 법으로 성장한 undoped ZnO 박막의 성장온도에 따른 광학적 특성

Optical properties of undoped ZnO films grown by PLD

  • 김기휘 (한국과학기술연구원 에너지재료연구단) ;
  • 임재현 (한국과학기술연구원 에너지재료연구단) ;
  • 송용원 (한국과학기술연구원 에너지재료연구단) ;
  • 이상렬 (한국과학기술연구원 에너지재료연구단)
  • Kim, Ki-Hwi (Center for Energy Materials Research, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Leem, Jae-Hyeon (Center for Energy Materials Research, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Song, Yong-Won (Center for Energy Materials Research, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Lee, Sang-Yeol (Center for Energy Materials Research, Korea Institute of Science and Technology)
  • 발행 : 2008.07.16
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

PLD 방법으로 undoped ZnO박막을 성장 온도별로 성장하여 박막의 광학적 특성이 변화되는 것을 관찰하였다. undoped ZnO박막은 $Al_2O_3(0001)$기판을 이용하였고, pulsed laser deposition(PLD)을 이용하여 증착을 하였다. 이때 파장이 355nm인 Nd:YAG 레이저를 이용하였고 레이저의 에너지 밀도는 1.4 $J/cm^2$ 이었다. 구조적 광학적 특성을 관측하기 위하여 XRD, SEM, PL 등을 측정하였다. PL 측정 결과 성장 온도가 증가함에 따라 undoped ZnO박막의 광학적 특성이 좋아지는 것을 관찰할 수 있었다. XRD 측정 결과도 온도별 FWHM과 intensity ratio가 점차 좋아지는 것을 볼 수 있었다.

키워드