Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

The Characterization of surface roughness of ITO on PET film by FTS System

FTS 장치로 증착된 ITO / PET 박막의 표면 거칠기 특성

  • 전아람 (플라즈마 표면 기술 응용 센터, 성균관대학교) ;
  • 금민종 (플라즈마 표면 기술 응용 센터, 성균관대학교) ;
  • 신경식 (플라즈마 표면 기술 응용 센터, 성균관대학교) ;
  • 이교웅 (플라즈마 표면 기술 응용 센터, 성균관대학교) ;
  • 김갑석 (플라즈마 표면 기술 응용 센터, 성균관대학교, 철원 플라즈마 신소재 연구소) ;
  • 한전건 (플라즈마 표면 기술 응용 센터, 성균관대학교)
  • Published : 2007.04.05
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Abstract

FTS(Facing Target Sputtering) 장치를 이용하여 polyethylene terephthalate (PET) 필름 위에 ITO(Indium Tin Oxide) 박막을 성장시키고 이들의 광학적, 구조적 특성을 조사하였다. 막 두께는 150 nm로 고정하였고, 인가적력과 산소 가스 유량비를 변수로 박막을 합성 하였다. 그 결과 80 % 이상의 광투과율과 Rms 26.8 nm 값을 갖는 ITO / PET 박막을 합성하였다.

Keywords