Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Dependency of oxygen partial pressure on the characteristics of ZnO films grown by magnetron sputtering

마그네트론 스퍼터링에 의해 성장된 ZnO 박막의 산소 분압 의존성

  • 안철현 (성균관대학교 신소재 공학과) ;
  • 김영이 (성균관대학교 신소재 공학과) ;
  • 강시우 (성균관대학교 신소재 공학과) ;
  • 공보현 (성균관대학교 신소재 공학과) ;
  • 조형균 (성균관대학교 신소재 공학과)
  • Published : 2007.04.05
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Abstract

마그네트론 스퍼터링을 이용하여 사파이어 기판위에 $O_2$의 분압에 따른 성장된 ZnO박막의 특성에 대해 연구하였다. $O_2$의 분압은 $Ar/O_2$의 비율에 의해 조절을 하여 성장을 하였으며, $O_2$의 분압이 감소함에 따라 결정성이 좋아지는 결과를 얻었다. PL측정결과에서 순수한 Ar분위기에서 성장된 ZnO박막에서 UV 발광과 더불어 Deep 1evel에 기인하는 Green 발광을 보였고, UN-Visible spectroscopy 측정결과 순수한 Ar분위기를 제외한 샘플에서 $60{\sim}80%$의 투과도를 보였다. SEM과 TEM의 이미지를 통해 미세 힐락들을 관찰되었는데, 이로 인해 투과도의 저하 원인으로 분석된다.

Keywords