한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

비대칭 마그네트론을 이용한 CrTiAlN 나노복합 박막의 미세구조와 기계적 특성

Microstructural and Mechanical Properties of CrTiAlN Nanocomposite thin films synthesis by Closed Field Unbalanced Magnetron Sputtering

  • 김연준 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교) ;
  • 이호영 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교, 철원 플라즈마 신소재연구소) ;
  • 변태준 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교) ;
  • 김갑석 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교, 철원 플라즈마 신소재연구소) ;
  • 한전건 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교)
  • 발행 : 2007.04.05
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초록

비대칭 마그네트론을 이용하여 사원계 CrTiAlN 나노 복합 박막을 합성하였고 합성된 박막의 특성을 분석하였다. CrTiAlN 나노복합 박막의 미세구조는 CrN (111)과 CrN (200)방향으로 성장하였고 기계적 특성은 $30\;{\sim}\;39\;GPa$의 경도 값을 얻었다. 질소 분압이 0.33 Pa에서 가장 높은 경도 값을 얻을 수 있었다.

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