Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

A study of microstructure and physical properties of metal containing carbon films sythesized by magnetron sputtering

  • 김성일 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 변태준 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 이호영 (철원 플라즈마 신소재연구소) ;
  • 김갑석 (철원 플라즈마 신소재연구소) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터)
  • Published : 2007.04.05
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Abstract

수소가 포함 되지 않은 금속 도핑 나노결정 구조의 카본을 CFUBM으로 합성하였다. 이번 실험을 통하여 금속의 함유량에 따라 마이크로 구조와 물리적인 특성의 상관관계를 알아보았으며, 그 필름의 구조와 물리적인 특성을 XPS과 HRTEM과 4-point prove의 분석기구를 통하여 알아보았으며, 비정질 흑연 구조내의 Ti 도핑된 클러스터 양의 증가 그리고 도핑양의 증가에 따른 전기적 비저항의 감소를 알아보고자 한다.

Keywords