Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Study of neutral beam characteristics using SIMS depth profile and improvement of neutral beam flux

SIMS depth profile을 이용한 중성빔 특성 분석 및 flux 향상방안

  • 김성우 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 박병재 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 민경석 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 강세구 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학과, 테라급 나노소자 개발 사업단)
  • Published : 2007.04.05
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Abstract

low angle forward reflected neutral beam etching system으로 식각한 후 SIMS depth profile을 이용하여 에너지 침투 깊이에 따른 중성빔 에너지를 분석하여 중성화 과정에서 에너지와 flux의 손실이 있었다. 기존의 two-grid 대신에 three-grid를 사용하여 에너지의 변화없이 이온 flux 및 중성빔 flux가 향상됨을 알 수 있었다.

Keywords