Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

$Al_2O_3$ coating on transparent polycarbonate substrates for the hard-coating application

투명 폴리카보네이트 보호코팅을 위한 산화알루미늄 박막

  • Kim, Hun (Seoul National University, School of Materials Science and Engineering) ;
  • Nam, Kyoung-Hee (Seoul National University, School of Materials Science and Engineering) ;
  • Jang, Dong-Su (Seoul National University, School of Materials Science and Engineering) ;
  • Lee, Jung-Joong (Seoul National University, School of Materials Science and Engineering)
  • 김훈 (서울대학교, 재료공학부) ;
  • 남경희 (서울대학교, 재료공학부) ;
  • 장동수 (서울대학교, 재료공학부) ;
  • 이정중 (서울대학교, 재료공학부)
  • Published : 2007.04.05
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Abstract

타겟 전압 제어를 통한 반응성 스퍼터링 방법과 유도결합 플라즈마(ICP: inductively coupled plasma)를 통해 산화알루미늄 박막을 증착하였다. 폴리카보네이트 기판과 산화알루미늄 박막사이의 접착력은 플라즈마 표면처리 하여 향상시켰다. 박막 특성은 ICP power 변화에 대한 경도, 구조, 밀도변화, 투과율, 증착속도, 표면 거칠기 및 잔류응력을 조사하여 보호코팅으로서 성능을 평가하였다.

Keywords