한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2007년도 춘계학술발표회 초록집
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- Pages.47-48
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- 2007
co-sputtering법으로 증착된 $Zn_{1-x}Mg_xO$ 박막의 밴드갭 엔지니어링
bandgap engineering of MgZnO thin films by co-sputtering
- 발행 : 2007.04.05
초록
본 실험에서는 MgO (99.999%)와 ZnO (99.999%)의 두가지 타겟을 사용한 RF co-스퍼터링법을 이용하여 p-type Si (100) 기판 위에
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