Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
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- Pages.99-100
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- 2007
Study on IZO films deposited by magnetron sputtering at low temperature and its application for flexible display
마그네트론 스퍼터링법으로 저온 증착한 IZO 박막의 특성 및 유연성 소자 적용
Abstract
마그네트론 스퍼터링법을 이용하여
Keywords