Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Heat treatment effect on metal electrodes of thin film embedded decoupling capacitor

  • 이승은 (삼성전기 중앙연구소 PKG팀) ;
  • 송병익 (삼성전기 중앙연구소 PKG팀) ;
  • 이정원 (삼성전기 중앙연구소 PKG팀) ;
  • 이인형 (삼성전기 중아연구소 분석G)
  • Published : 2007.11.02
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Abstract

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