Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2007.08a
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- Pages.263-263
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- 2007
Hexamethyldisiloxane과 Neohexane 단량체를 이용하여 플라즈마 중합된 저유전상수 갖는 박막의 증착파워 변화에 따른 특성연구
- U, Ji-Hyeong ;
- Lee, Seong-U ;
- Mun, Mi-Ran ;
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Jeong, Dong-Geun
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Jo, Sang-Jin
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Bu, Jin-Hyo
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Chae, Hui-Yeop
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- Bae, Geun-Hak
- 우지형 (성균관대학교 물리학과) ;
- 이성우 (성균관대학교 물리학과) ;
- 문미란 (성균관대학교 물리학과) ;
-
정동근
(성균관대학교 물리학과) ;
-
조상진
(성균관대학교 화학과) ;
-
부진효
(성균관대학교 화학과) ;
-
채희엽
(성균관대학교 화학공학과) ;
- 배근학 ((주)ATTO)
- Published : 2007.08.15
Abstract
Keywords